No.03206 チップ内部の素子の最大値の分布に関して  【きくち】 2007/04/13(Fri) 19:10

はじめまして,半導体メモリーのエンジニアをやっているものです。
このたびは,半導体メモリーの最悪素子のばらつきに関して,質問させてください。

半導体メモリーのチップの中には,1メガ個〜10ギガ個の記憶素子があります。
この素子は閾値電圧という量で管理していまして,これらはチップ内部で正規分布をしています。

半導体メモリーにとって,最も閾値電圧が高いものや低いものが,製品としての最悪素子になります。
言い換えますと,これらの素子が,チップ自体の特性を決めてしまいます。
つまり,大量のチップを作り,これらの特性を予想する場合には,
このチップの最大値・最小値がどういう分布になるかが知りたいところです。

実際,このチップの閾値電圧の最大値が,どういう分布になるのかを計算をしてみました。
質問は,この考え方が,正しいか教えていただきたいです。

いろいろ調べて見たのですが,同じような問題を見付ける事ができませんでした m(_ _)m。
その為,相談させていただきました。よろしくお願いいたします。


計算内容

<<< 前提条件 >>>
- Chip内部の素子数が,n個とします。
- Chip内部の素子は,平均値μ,標準偏差σで分布しているとします。
 ここで,正規分布をf(V),累積正規分布をF(V)とおきます。

<<< 計算方法 >>>
(0) 最大値が,Vmaxである場合を考えます。
(1) 正規分布を,
  「最大値を含む区間」 (ここは無限小の区間幅とします。)
  「最大値より大きい閾値電圧を含む区間」
  「最大値より小さい閾値電圧を含む区間」
 の3つに分けて考えます。
(5) 最大値Vmaxが発生する確率 g (Vmax) を考えると,
 「最大値を含む区間」では1回発生 (無限小区間なので2回以上発生する場合は無視できる。)
 「最大値より小さい閾値電圧を含む区間」ではn-1回発生
 「最大値より大きい閾値電圧を含む区間」では,0回発生
  したということなので,多項分布から,
  g (Vmax) = nC1 x ( f (Vmax) ) x ( F (Vmax) )^(n-1)
   ※nC1は,コンビネーションです。
  となります。

<<< 結果 >>>
最大値の分布は,n,μ,σに依存。


この考え方は,正しいのでしょうか?
申し訳ありませんが,教えてください m(_ _)m。

No.03207 Re: チップ内部の素子の最大値の分布に関して  【青木繁伸】 2007/04/13(Fri) 19:36

シミュレーションでやってみました
> x <- sapply(1:1000, function(i) max(rnorm(1000000)))
> hist(x,prob=TRUE, ylim=c(0,2))
> z <- seq(4, 7, by=0.05)
> y <- 1000000*dnorm(z)*pnorm(z)^(1000000-1)
> lines(z, y, col="red")
良さそうな感じですかね。

fig


No.03218 Re: チップ内部の素子の最大値の分布に関して  【ファン】 2007/04/14(Sat) 18:51

No.3206
>この考え方は,正しいのでしょうか?

「順序統計量」の分布,例えば Wikipedia
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E9%A0%86%E5%BA%8F%E7%B5%B1%E8%A8%88%E9%87%8F
において,「最大値」のケースを考えると,結果は正しいですね。

しかし最大値だけなら,以下のように考えた方が簡単かと,,,

 閾値電圧の最大値が Vmax "以下"である確率 G(Vmax) は
   G(Vmax) = F(Vmax)^n (ただし n 個が独立または無相関な場合)
 よって,その確率密度関数 g(Vmax) は
   g(Vmax) = dG(Vmax) / dVmax = n・[F(Vmax)^(n-1)]・f(Vmax)

また,分布が現実と合うかどうかは,同一チップ内の n 個の素子の特性が,独立または無相関(正規分布なら同等)に近いかどうかによるでしょうね。

No.03224 Re: チップ内部の素子の最大値の分布に関して  【きくち】 2007/04/16(Mon) 09:27

青木さん,ファンさん,ご検討をありがとうございます。
間違ってなかったようで良かったです(^_^;A。
ありがとうございました。

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